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2022年05月06日 08:32:28
【炬光科技:公司光场匀化器产品目前没有用于EUV光刻机】《科创板日报》6日讯,炬光科技在互动平台上表示,公司光场匀化器产品目前没有用于EUV光刻机。目前光场匀化器产品供应给世界顶级光学企业A公司,最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。公司根据不同客户需求,匹配不同波长的光场匀化器,覆盖了DUV全部波长。
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