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2022年09月06日 14:18:32
【佳能推出半导体光刻设备运行支持系统】《科创板日报》6日讯,近日,佳能发布消息称,已开始提供负责半导体制造核心工序的光刻设备的运行支持系统。除了能实时分析设备状态外,还具备出现异常时自动恢复及提供最佳制造条件的功能。据悉可将客户的业务效率提高3成以上。佳能将向希望提高业务效率和生产效率的国内外半导体厂商销售该系统。
半导体芯片
光刻机
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