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2019年12月10日 17:50:27
【新进展!中科院研发世界首个自对准栅极的叠层垂直纳米环栅晶体管】《科创板日报》10日讯,据中科院官网消息,中国科学院微电子研究所先导中心研究员朱慧珑及其课题组提出并实现了世界上首个具有自对准栅极的叠层垂直纳米环栅晶体管。据悉,垂直纳米环栅晶体管是集成电路2纳米及以下技术代的主要候选器件,但其在提高器件性能和可制造性等方面面临着众多挑战。(集微网)
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