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2020年05月29日 15:11:01
【ASML官宣全新半导体技术 5nm工艺产能有望暴涨600%】《科创板日报》29日讯,全球最大光刻机设备商ASML近日在官网宣布,完成第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的测试。据悉,HMI eScan1000是一套基于HMI多光束技术的检测系统,用于验证先进工艺生产出来的晶圆质量。工艺越先进,检测系统就越重要,后者的检测精度、吞吐量决定了生产的效率。该设备适用于5nm及更先进工艺,突破之处在于能够同时产生、控制九道电子束,帮助产能提升600%,可以大大减少晶圆质量分析所用的时间。
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