科创板日报（上海，研究员 高桥）讯，上交所官网显示，光刻机双工件台生产商北京华卓精科科技股份有限公司已进入受理阶段，这意味着该公司在科创板上市路程上再进一步。有市场人士认为，随着该事件的逐步催化，A股光刻机概念股行情有望起飞。

招股说明书显示，华卓精科目前是国内首家自主研发并实现光刻机双工件台商业化生产的企业，主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍生产品的研发、生产以及销售和技术服务，目前属于国家鼓励类产业。

发行保荐书显示，凭借对精密运动测量和控制核心技术的封锁，境外厂商在光刻机工件台等应用领域实行了长期的垄断。公司作为深耕该领域的国内龙头企业，经过多年的持续研发，打破了境外厂商的技术垄断，在精密运动测量和控制领域积累了丰富的经验和技术。

从招股说明书披露的财务数据来看，2019年、2018年和2017年公司营收分别为1.21亿元（同比增速41%）、0.86亿元（同比增速58%）和0.54亿元； 2019年、2018年和2017年归母净利润分别为0.21亿元（同比增速38%）、0.15亿元（同比增速21%）和0.13亿元。

招股说明书显示，公司是国产高端光刻机龙头企业上海微电子的双工件台产品及技术开发的供应商。公司与上海微电子长期保持良好的合作关系，共同进行 IC 前道光刻机核心技术的研发和 IC 前道光刻机产品的生产，为国产光刻机崛起奠定了基础，占据了中国商用光刻机双工件台的主要市场份额。

资料显示，目前上海微电子研制的 90nm 高端步进扫描投影光刻机已完成整机集成测试，并在客户生产线上进行了工艺试验，是我国 IC 前道光刻机龙头企业。

光刻机主要由工件台、投影物镜和光源三大核心子系统件组成。资料显示，光刻机作为前道工艺七大设备之首（光刻机、刻蚀机、 镀膜设备、量测设备、清洗机、离子注入机、其他设备），价值含量极大，在制造设 备投资额中单项占比高达23%，技术要求极高，涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术。

目前来看，光刻机的主要生产商包括荷兰 ASML、日本尼康、日本佳能和上海微电子。方正证券研报显示，目前全球前道光刻机被ASML、尼康、佳能完全垄断 , 三者2019年度IC前道制造光刻机出货量占比高达99%，在当前局势下，实现光刻机的国产替代势在必行，具有重大战略意义 。

方正证券陈杭建议关注以举国之力助力国产替代的光刻产业链，一是光刻机核心组件：负责整体集成的上海微电子、负责光源系统的科益虹源，负责物镜系统的国望光学，负责曝光光学系统的国科精密，负责双工作台的华卓精科，负责浸没系统的启尔机电； 二是光刻配套设施：包括光刻胶，光刻气体，光掩模版，光刻机缺陷检测设备，涂胶显影设备等。