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2021年03月17 10:28:25
【芯片制造关键设备再突破 离子注入机实现全谱系产品国产化】财联社3月17日讯,中国电子科技集团有限公司17日对外公布,该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术,已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段覆盖至28nm,为我国芯片制造产业链补上重要一环,为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。
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