【电报|中微全资子公司达成新合作 推进半导体尾气处理设备】《科创板日报》26日讯，《科创板日报》记者从中微公司获悉，旗下全资子公司中微惠创科技（上海）有限公司与德国DAS环境专家有限公司签订战略合作协议，就半导体行业尾气处理设备领域展开紧密的合作。中微惠创是中微公司旗下的全资子公司，于2014年12月注册成立，主要致力于泛半导体领域环保、新能源等领域的产品研发、生产和销售。（记者 金小莫）