【盛美上海18腔300mm Ultra C VI单晶圆清洗设备投入量产】《科创板日报》22日讯，盛美上海今日宣布，18腔300mm Ultra C VI单晶圆清洗设备已成功投入量产。该设备于2020年第二季度首次推出，目前已在中国一家主流存储芯片制造商产线上获得验证并进入量产。