《科创板日报》26日讯，半导体真空装备制造商浙江生波智能装备有限公司宣布完成亿元级A轮融资，由国芯创投领投，派诺资本及产业资方跟投。智慧芽数据显示，生波智能目前共有20件专利申请，其中10件为发明专利，公司专利布局主要聚焦于真空镀膜、驱动机构等相关领域。