【芯碁微装：已完成90nm技术节点制版应用研发 首台光刻设备即将交付客户验证】《科创板日报》27日讯，芯碁微装在互动平台表示，公司130-90nm制版光刻设备，能够实现最小线宽350nm、CD均匀度10%，产能120min/片。2023年公司已完成了90nm技术节点制版应用的研发，首台设备即将交付客户验证。