《科创板日报》5月7日讯（记者 郭辉） “公司一季度收入同比增速放缓是一季度正常的季节性波动。结合公司现阶段在手订单、新产品验证情况、市场需求反馈等方面积极因素，2025年有信心继续保持较高的营收增速”。在中科飞测今日（5月7日）举行的业绩会上，该公司董事长、总经理陈鲁回答《科创板日报》记者提问表示，利润层面，预计2025年整体的研发费用增速会趋于稳定，研发费用率逐步降低，2025年全年盈利水平有望改善。

中科飞测最新发布的2025年一季度财报显示，期内实现营业收入2.94亿元，同比增长24.89%；归母净利润为-1496万元。2024年全年营收同比增幅为54.94%。

据陈鲁介绍，在订单层面，该公司也持乐观态度。一方面，公司年初至今订单获取节奏较好，尤其在暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备等新产品以及各产品系列向先进制程设备迭代都取得积极进展，有望带动订单持续增长；另一方面，国内客户整体需求乐观，尤其是先进制程客户产品需求明确。

陈鲁透露，从目前的市场反馈来看，除先进制程客户有明确产品需求外，在HBM等新兴的先进封装领域也获得了积极的市场反馈。

中科飞测主要为半导体行业客户提供涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解决方案。

产品研发及导入进展方面，该公司7大系列设备已经批量量产并在国内头部客户产线应用，技术指标全面满足国内主流客户工艺需求，公司各系列产品市占率稳步快速增长；另外2大系列设备已完成样机研发，并已批量出货至多家国内头部客户开展产线工艺验证和应用开发。软件产品方面，3大系列智能软件已全部应用在国内头部客户，并不断提高在不同应用领域的覆盖度。

中科飞测产品布局

关于AI技术在半导体产业良率管理的应用进展，陈鲁表示，该公司已将人工智能和大数据技术应用到半导体质量控制数据上，对公司各系列设备迭代升级过程中算法运算效率和缺陷识别精度不断优化，并形成了一系列提升高端半导体制造良率的软件产品。“这些软件产品能够在检测和量测设备的基础上进一步为客户在良率管理中赋能，形成完整的质量控制设备和智能软件相结合的良率管理闭环，为客户实现最大化的质量控制对良率管理的提升效果。 ”

中科飞测近日宣布，该公司先进制程明场纳米图形晶圆缺陷检测设备REDWOOD-900，于今年4月再次出货头部客户。

陈鲁今日（5月7日）在业绩会上进一步表示，其明场纳米图形晶圆缺陷检测设备目前已小批量出货到多家国内头部客户，包括逻辑、存储，目前验证进展顺利，获得客户对测试数据积极的反馈。

据介绍，中科飞测是国内最早推出明场纳米图形晶圆缺陷检测设备到先进制程大产线上进行验证的供应商之一，涵盖多种技术路线，可以满足不同的客户工艺需求，打破了国外长期垄断。

不过陈鲁也表示，由于明场设备的技术难度较高，预计其在收入和批量订单方面实现较大的贡献仍需一定时间，但公司对于明场设备的长期发展非常有信心。

根据SEMI预测报告，预计2024年中国大陆晶圆产能同比增长15%至885万片/月，2025年将继续增长14%至1010万片/月，中国大陆晶圆厂的产能增速居全球之首。受益于国内晶圆厂的产能持续扩张，中国大陆的半导体设备行业正处于快速发展期。

陈鲁表示，近年得益于中国半导体全行业的蓬勃发展和国家近年来对半导体产业持续的政策扶持，行业下游晶圆厂在关键工艺节点上持续推进，多家国内领先的半导体制造企业进入产能扩张期，“中国大陆半导体检测与量测设备的市场处于高速发展期”。