《科创板日报》10月29日讯（记者 黄修眉）中科飞测今日（10月29日）晚间披露2026年三季报：第三季度实现营业收入6.73亿元，同比增长34.73%；归母净利润3230.70万元，同比增长783.70%，环比扭亏为盈；扣非归母净利润亏损1349.78万元。前三季度营业收入16.14亿元，同比增长34.31%；归母净利润亏损9513.07万元，亏损幅度较上半年收窄。

中科飞测表示，业绩增长主要得益于公司在突破核心技术、推进产业化及迭代升级各系列产品的过程中取得重要成果，在核心技术、客户资源、产品覆盖广度及深度等方面的综合竞争优势进一步增强。

这轮拉动营收的，主要是几款新设备开始进产线。明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、高深宽比刻蚀结构量测设备等各系列新产品，第四代无图形晶圆缺陷检测设备、第三代套刻精度量测设备等现有系列升级迭代产品，以及先进制程收入贡献增长，推动公司订单规模及营收规模持续增长。

不过中科飞测前三季度累计归母仍为亏损9513.07万元，扣非亏损2.05亿元，说明新产品导入期的定价、样机验证和销售费用还在吞利润。该公司对此亦曾提及，上半年毛利率波动，受先进封装收入占比阶段性走高、部分新产品市场导入期报价偏低影响。

该公司的研发投入也同比走高。前三季度研发投入合计6.35亿元，同比增长44.23%，占营收39.32%；第三季度单季研发投入2.54亿元，占营收37.67%。订单端也能对上，公司此前在业绩交流中披露，前道制程及先进制程订单占比超过80%，存储客户占比显著提升。

截至10月29日收盘，中科飞测报228.27元/股，最新总市值约804亿元。