【上海新阳：干法蚀刻后清洗液已实现14nm以上技术节点全覆盖】《科创板日报》21日讯，上海新阳在互动平台上表示，公司目前在手订单产量饱满，ArF光刻胶尚处于验证阶段。电镀液及添加剂产品已覆盖90-14nm技术节点，干法蚀刻后清洗液已经实现14nm以上技术节点全覆盖。