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2022年09月21 08:49:11
【上海新阳:干法蚀刻后清洗液已实现14nm以上技术节点全覆盖】《科创板日报》21日讯,上海新阳在互动平台上表示,公司目前在手订单产量饱满,ArF光刻胶尚处于验证阶段。电镀液及添加剂产品已覆盖90-14nm技术节点,干法蚀刻后清洗液已经实现14nm以上技术节点全覆盖。
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