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2022年09月30 08:20:21
【中微公司:目前订单饱满 正在开发LPCVD设备、ALD设备和EPI设备】《科创板日报》30日讯,中微公司披露调研纪要显示,公司刻蚀设备在工艺覆盖度方面不断提升,在客户端验证工艺进度良好,目前订单情况饱满。目前,公司已组建团队在开发LPCVD设备、ALD设备和EPI设备,其中,ALD方面是一个新领域,国内应用目前有限,因为ALD一般用在10nm以下技术。
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