【中微公司：目前订单饱满 正在开发LPCVD设备、ALD设备和EPI设备】《科创板日报》30日讯，中微公司披露调研纪要显示，公司刻蚀设备在工艺覆盖度方面不断提升，在客户端验证工艺进度良好，目前订单情况饱满。目前，公司已组建团队在开发LPCVD设备、ALD设备和EPI设备，其中，ALD方面是一个新领域，国内应用目前有限，因为ALD一般用在10nm以下技术。