【芯碁微装MAS6直写光刻设备成功开拓日本市场】《科创板日报》24日讯，据芯碁微装官微消息，近日，芯碁微装MAS6直写光刻设备成功销往日本市场。据悉，MAS6直写光刻机设备是专门面向IC载板（FC-BGA基板、FC-CSP基板）领域量产L/S：10/10μm节点的客户需求进行开发。