【大族激光：接近式光刻机已投入市场 步进式光刻机已启动用户优化】《科创板日报》27日讯，大族激光近期接受投资者调研时称，目前，公司光刻机项目主要应用在分立器件领域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化。