【拓荆科技：PE-ALD设备已实现量产，Thermal-ALD设备正在客户端验证】《科创板日报》18日讯，近日，拓荆科技在接受机构调研时表示，公司研制的ALD设备系列产品包括PE-ALD设备和Thermal-ALD设备，PE-ALD设备已实现量产，可以沉积SiO2、SiN等介质薄膜材料，Thermal-ALD设备已出货至不同客户端进行验证，可以沉积Al2O3等金属化合物薄膜；SACVD和HDPCVD设备均已实现产业化。拓荆科技将持续保持产品核心竞争优势，不断扩大量产应用规模。