【佳能：目标最快今年开始交付低成本纳米压印光刻设备】《科创板日报》29日讯，负责监督新型光刻机开发的佳能高管武石洋明称，采用纳米压印技术的佳能光刻设备FPA-1200NZ2C目标今年或明年出货。 (英国金融时报)