《科创板日报》7月31日讯（特约记者 戴嘉怡） 国产半导体量检测设备领域再现大额融资。

近日，埃芯半导体完成B+轮融资，总融资规模近10亿元。本轮融资参与方涵盖国新基金、鲲鹏资本、高瓴创投（GL Ventures）、亦庄国投、赛米基金、建信股权、中芯聚源、穗开投资、武创投、华工投资、深担创投、合肥高投、光谷金控等。同时，深创投、长江资本、招商证券、华沃斯等老股东持续加注。

埃芯半导体方面表示，本轮融资资金，将支撑公司大规模制造、交付、服务及保障体系的建立，加速先进制程、先进封装及高端科研仪器产品的攻关，推动资本、技术、产业资源与应用场景深度协同。

▍聚焦半导体量测检测赛道

埃芯半导体成立于2020年10月，总部位于深圳市龙华区，是国家级高新技术企业、专精特新“小巨人”企业。其专注半导体先进工艺晶圆量测、先进封装量检测及高端科学仪器研发、制造和销售。

该公司布局光学和X射线两条技术路线，支撑光学晶圆量测、X射线晶圆量测、先进封装检测和科学仪器四个产品线，提供先进工艺晶圆量测、先进封装检测和物质科学研究三大解决方案。

具体来看，在晶圆制造领域，该公司产品重点覆盖薄膜厚度、关键尺寸、套刻误差、材料组分及晶体结构等量测需求；在先进封装领域，其重点面向混合键合、硅通孔、凸点等关键工艺，提供键合缺陷、内部孔隙、填充质量及套刻精度等检测与量测能力；在高端科学仪器领域，其产品服务于物理研究、材料分析、量子科学等科研及产业应用需求。

产品方面，其中，该公司代表性产品HighYield® IM光学集成量测设备，系集成膜厚与关键尺寸一体化量测机型。

业务进展方面，埃芯半导体于2023年实现首台晶圆量测设备交付；今年4月，其第100台设备已交付客户。

埃芯半导体创始人兼董事长张雪娜，本科毕业于中国科学技术大学物理学专业，在德国马普所获得物理学硕士与博士学位，后在美国斯坦福大学担任博士后研究员。创业前，其曾就职于美国科磊、应用材料等多家国际顶尖半导体设备公司，担任科学家、研发负责人及全球产品总监等职务，拥有20年半导体设备产品研发经验。

今年7月初，埃芯半导体正式入驻光谷存储器产业创新街区武汉芯光产业园，设立华中研发与生产基地，持续扩充整机装配与测试产线，搭建规模化交付能力，配套完善售后运维体系，服务华中区域晶圆、存储产业链。

彼时，据湖北省科技投资集团官网披露，目前埃芯半导体研发人员占比超60%，研发团队硕博人才占比超70%。

▍亦庄国投、赛米基金等投了

从其融资历程来看，天眼查信息显示，埃芯半导体自成立以来累计完成五轮融资，投资方涉及国家级基金、地方国资平台、半导体产业资本等。

其中，2021年该公司完成1亿元天使轮融资，投资方包含英诺天使基金、华盛开泰等；而后，其完成Pre-A轮及A轮融资，深创投持续加注，成为贯穿其多轮融资的核心投资方。

2024年1月，该公司完成数亿元B轮融资，深创投等机构继续跟投，同时引入基石资本、富土基金等新增投资方，资金重点用于初代量测设备产业化落地与客户试点验证。

今年2月，该公司完成数亿元B+轮融资首批交割，由深圳市半导体与集成电路产业投资基金（赛米基金）、中芯聚源、博时创新、长江资本联合参与。其中，以赛米基金为代表的产业资本，是深圳“20+8”产业基金之一，作为深圳市重点打造的半导体产业投资平台，聚焦集成电路产业链关键环节和核心技术方向。

股权结构方面，据天眼查信息显示，深圳市埃芯半导体企业管理咨询合伙企业（有限合伙）为该公司第一大股东，持股比例约34.44%；张雪娜通过相关持股平台为公司实际控制人。

▍半导体量检测设备本土化发展提速

半导体量测检测设备是半导体制造设备的核心细分赛道之一，覆盖光刻、刻蚀、薄膜沉积等关键工序，是晶圆良率管控的核心保障。

从行业格局来看，目前在全球市场中，美国科磊占主导，市场份额超50%；而包括美国应用材料等在内的全球前五厂商合计市占率超80%。

国内竞争格局方面，当前行业处于早期突破阶段，尚未形成绝对龙头。TrendForce数据显示，国内量检测设备国产化率仅1%-10%，远低于刻蚀、清洗等环节，是设备板块替代缺口最大的赛道。

在这其中，中科飞测作为国内光学量测设备上市龙头，产品覆盖多类光学量测机型；精测电子重点布局显示检测与半导体后段检测；埃芯半导体作为同时布局光学及X射线两条技术路线的创业公司，同步覆盖前道晶圆制造、先进封装两大市场，并延伸至高端科研仪器。

当前，依托大基金三期对半导体上游装备的持续支持，叠加供应链自主可控诉求上升，国内晶圆厂导入国产设备节奏加快，半导体量测检测设备国产化步入加速窗口期。

今年7月初，国金证券在研报中分析表示，全球AI算力与HBM存储产能扩张带动半导体设备需求高景气，后道测试与前道量检测双赛道成长确定性突出。2025年全球半导体量检测市场规模约为192.2亿美元，在市场持续扩容的背景下，预计到2030年有望突破321.0亿美元，2026年至2030年的年复合增长率将达到10.8%。