很抱歉,当前没有启用javascript,网站无法正常访问。请开启以便继续访问。电报|奥普光电:大股东长春光机所正研发45nm-22nm光刻机曝光系统
2020年06月12日 18:59:37
【电报|奥普光电:大股东长春光机所正研发45nm-22nm光刻机曝光系统】《科创板日报》12日讯,奥普光电证券部人士向《科创板日报》记者表示,公司目前没有参与光刻机任何研发工作,光刻机曝光系统跟公司主营业务没有关系,大股东长春光机所正在研发45nm-22nm光刻机曝光系统;光刻机曝光系统是光刻机中软硬件一体的关键部件,负责光刻工艺中的对准曝光工序;光刻机曝光系统研发工作属于国家02专项(注:国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”),“可以说曝光系统前进,光刻机才能往前推进,曝光系统是引领着光刻机往前走的。”(记者 张克瑶)
12.54W+特别声明:文章内容仅供参考,不构成投资建议。投资者据此操作风险自担。