《科创板日报》 （上海，记者 吴凡）讯，12月1日晚间，万业企业（600641.SH）公告称，控股孙公司北京凯世通半导体有限公司（以下简称“凯世通”）拟向公司关联方芯成科技（绍兴）有限公司（以下简称“芯成科技（绍兴）”）出售3款12英寸集成电路设备：低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机以及高能离子注入机，总交易金额为1亿元（含13%增值税）。

万业企业内部人士今日向《科创板日报》记者表示，公司订单并非立即交货，而是分批次，同时需要得到客户方的验证。记者在公告中也注意到，付款条件中包括：验证通过后30个工作日支付进度款2（第二笔进度款），即设备金额的 20%。另外此次拟出售的3台离子注入机中，重金属低能大束流离子注入机组装目前完成 80%；其他两款设备处于采购零部件阶段。

“但既然能拿到一个亿的订单，也说明市场对公司是认可的，公司也是有能力去做这个事情”，万业企业内部人士向记者进一步表示。

记者注意到，此次交易方芯成科技（绍兴）于今年7月成立，其母公司为港股上市公司芯成科技，后者今年上半年实现营收约1.6亿港元，同比增67.28%；权益持有者应占利润3135.2万港元，同比扭亏为盈。由于万业企业的董事李勇军、孟德庆系此次关联交易的关联董事，因此该笔交易构成关联交易。

芯成科技官网显示，公司主营业务包括SMT设备和半导体设备业务，其中芯成科技目前正向半导体智能装备行业拓展，欲转型成为综合性半导体智能装备服务平台。而此次交易方芯成科技（绍兴）的经营范围就包括：半导体设备、集成电路芯片及产品，另外还涉及进出口代理。

万业企业在今年6月对上交所2019年年报问询回复中曾提及：目前国内一家重要的12英寸晶圆芯片制造厂与一家存储器芯片设计制造厂正在评估凯世通集成电路设备。前述12英寸晶圆芯片制造厂是否指向为芯成科技（绍兴）？上述内部人士称，暂不清楚。

对于万业企业而言，此次交易也是公司在集成电路离子注入机业务的首个大单。公司副总经理周伟芳对记者表示，此次交易的设备性能在国际上属于主流水平，可用于12英寸成熟工艺。

实际上，针对集成电路离子注入机业务，早在2019年1月，万业企业在回复上交所问询函时就表示，预计在2019年上半年向客户 NinebellCO.Ltd 交付低能大束流离子注入机一台，预计销售收入1760.67万元。

《科创板日报》记者在万业企业今年9月披露的“关于收到上海证监局行政监管措施决定书”公告中看到，上交所称“经查，该台设备（指销售给NinebellCO.Ltd的低能大束流离子注入机）为凯世通第一台商用集成电路离子注入机，该设备的研发进展、生产进度、交付时点均存在不确定性”。

此外，在更早前的2018年，凯世通还与韩国客户签署的一台设备订单，与一家国内存储芯片公司签订一台设备订单。但上述订单均因各种原因出现延期交付。对于前述订单的进展情况，公司内部人士表示，目前没有得到交易取消或者不进行的通知。

值得注意的是，除了记者提及的上述订单外，万业企业还在年报回复函中透露，还有诸多潜在交易对手方关注到了凯世通的集成电路离子注入机，而这些潜在交易对手方都在等待凯世通β机的验证结果，“一旦验证结果符合要求，将填补国内技术空白，建立较高技术壁垒”。

记者了解到，近两年来，凯世通的研发投入主要聚焦于“Finfet集成电路离子注入机项目”，前述项目主要研究开发适用于10nm及以下技术节点的三维器件结构Finfet集成电路离子注入机原理机和β机，万业企业称，前述项目对公司意义重大。

公司内部人士向记者表示，离子注入机的验证分很多阶段和环节，每个步骤都特别复杂，“之前有询问过子公司的进展，β机目前还是在同步进行验证”。

方正证券分析师陈杭今日发布研报认为，离子注入机是解决芯片国产化设备卡脖子的关键环节，该行业存在较高竞争壁垒，技术集中度较高，主要由美国厂商垄断。此次凯世通集成电路离子注入机获得客户多款设备采购，表明国内客户对凯世通低能大束流离子注入机、高能离子注入机进入全面商用化的认可。

陈杭表示，随着下一代工艺设备完成验证以及商用推进，国内半导体设备制造商有望进行新一轮晶圆制造投资，凯世通的离子注入机在国内市场的需求有望持续增长。