很抱歉,当前没有启用javascript,网站无法正常访问。请开启以便继续访问。电报|ASML交付第一台YieldStar 385系统 可满足3纳米制程要求
2021年01月20 15:51:57
【电报|ASML交付第一台YieldStar 385系统 可满足3纳米制程要求】《科创板日报》20日讯,据《《科创板日报》记者获悉,在应用业务中,ASML在第四季度向客户交付了第一台YieldStar 385系统。YieldStar 385具备最新的量测技术,提高量测速度和准确度,可以满足3纳米制程的要求。 与以前的系统相比,主要的增强功能包括更快的工作台和更快的波长切换,这可以实现高精度的套准测量和使用多个波长的设备匹配。(记者 戚夜云)
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