很抱歉,当前没有启用javascript,网站无法正常访问。请开启以便继续访问。清华大学新成果助力光刻机研发
2021年02月25 13:01:27
【清华大学新成果助力光刻机研发】财联社2月25日讯,清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与来自亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心(HZB)以及德国联邦物理技术研究院(PTB)的合作团队2月25日在《自然》杂志上发表了题为《稳态微聚束原理的实验演示》的研究论文,报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”(英文缩写SSMB)的首个原理验证实验。基于SSMB原理,能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射,波长可覆盖从太赫兹到极紫外(EUV)波段,有望为光子科学研究提供广阔的新机遇,助力解决自主研发光刻机中最核心的“卡脖子”难题。
10.94W+特别声明:文章内容仅供参考,不构成投资建议。投资者据此操作风险自担。