《科创板日报》2日讯，招标平台信息显示，4月1日，中微公司中标华虹半导体（无锡）有限公司12台刻蚀机，包括钝化膜等离子体刻蚀机7台、氧化膜等离子体刻蚀机3台和氮化硅等离子体刻蚀机2台。 （爱集微）