【格科微：购买的ASML设备为全新产品 主要用于募投项目12 英寸 CIS 集成电路特色工艺研发与产业化项目】财联社3月31日电，格科微在互动平台表示，公司购买的ASML设备为全新产品，主要用于募投项目12 英寸 CIS 集成电路特色工艺研发与产业化项目，项目建成后公司将拥有月产20,000 片 BSI 晶圆的产能。