【三星推出业界首款EUV DRAM：明年将用于DDR5/LPDDR5大规模量产】《科创板日报》25日讯，三星今日宣布，已出货100万第一代10nm EUV级（D1x）DDR4 DRAM模组，并完成全球客户评估，并将从第四代10nm级（D1a）DRAM或高端级14nm级DRAM开始全面导入EUV，明年基于D1a大规模量产DDR5和LPDDR5内存芯片，预计会使12英寸晶圆的生产率翻番。根据三星此前预判，EUV将帮助其至少推进到3nm尺度。