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2021年03月08 17:46:20
【上海新阳:ASML干法光刻机设备顺利交付】财联社3月8日讯,上海新阳公告,经各方积极协商、运作,ASML-1400光刻机设备于今日已进入合作方北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司场地,后续将进行安装调试等相关工作。公司采购的ASML干法光刻机设备顺利交付,对加快193nmArF干法光刻胶产品开发进度有积极影响。
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